关键词：标准漏孔 | MPCVD | 电容薄膜规真空计 | 高低真空校准装置 | 氦漏孔校准装置
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(E-5~E-8）Pa.m3/s
漏孔按照出口气压分为真空（负压）漏孔和正压漏孔，主要决定于使用条件。当漏孔出口对大气时，标准漏孔称作正压漏孔，比如吸枪法检漏用漏孔就属于这一类。
技术参数一览表
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VTL |
-C |
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漏孔范围 |
(E-5~E-8) Pa·m3/s |
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充装气体 |
He |
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示值允许偏差 |
±15% |
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温度补偿 |
约0.2%/℃ |
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漏孔元件 |
微通道管、金属压扁管等 |
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抗堵塞能力 |
微通道型：优异 金属压扁型：一般 |
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接口 |
接口：吸枪 |
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出口 |
大气atm |
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气室容积 |
150mL/300mL/1000mL/定制 |
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压力 |
最高约10MPa |
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衰减 |
实际衰减量取决于压力，储气罐大小和泄漏率 |
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证书 |
SIMT/NIM |
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